技术编号:24062355
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。从si晶片生产工艺和硅晶片生产设备中回收亚微米si颗粒的方法技术领域本发明涉及一种用于从硅(si)晶片生产工艺中回收亚微米硅(si)颗粒的方法,尤其是用于从金刚石固定磨料工艺(如金刚石线锯)中回收si锯屑的方法,更具体地说,该方法使得si锯屑可以被再利用以生产特别是能够制造太阳能电池的高质量硅锭和硅晶片。背景技术半导体和光伏工业依赖于以优化和低廉的成本制造高质量硅晶片。在制造过程中,通过已知的方法从多晶硅原料形成硅单晶,如悬浮区熔法(或简称fz法)或直拉法(简...
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