技术编号：24161856
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及光刻技术领域，尤其涉及光刻图形的套刻对准和定位技术领域。背景技术.微电子学和光电子学的发展引起了集成电路芯片、集成光学芯片的高速发展。这些产业成为现代计算机、显示屏乃至整个信息产业核心器件和芯片的基础。当前，现代芯片工业的技术节点已经达到了纳米甚至更小。.制造芯片这样的微纳米器件离不开光刻技术。光刻技术包括普通光学光刻技术，深紫外/极紫外光刻技术，电子束光刻技术、离子束光刻技术等。借助这些关键光刻技术才能制造出精细的光刻图形以至包罗万象的微纳米器件结构，例如集成电路芯片和光电...
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