技术编号：2419607
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及光电产品生产技术，尤其指一种运用于光电产品的生产制造工艺中，能延长此类光罩的替换周期、提升生产的品质、以及降低生产成本的金属塑料复层式光罩。背景技术在目前光电产品之中，如液晶屏幕的面板，会利用光罩在制造工艺中于玻璃基板上沉积出一些不同材料的薄膜，而过程中包含但不限涂布、曝光、蚀刻、显影、清洗、烘烤等步骤，利用多个不同的光罩依序运作，一层一层规划出所设计的结构。在前述光罩的成本中，最高的是采用石英材料的光罩，此种光罩能满足精密度要求严格的制造工...
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