一种InGaAs多线列光敏芯片及其应用的制作方法技术资料下载

技术编号:24444042

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一种ingaas多线列光敏芯片及其应用技术领域.本发明涉及一种能够同时吸收不同波段光谱的ingaas多线列光敏芯片及其在多光谱成像探测器中的应用,属于红外探测器技术领域。背景技术.微型光谱仪在农业、食品、工业等领域具有广泛的应用需求,是现场品质快检和在线检测的理想仪器,具有快速、高通量、无损、无污染、高精度、低成本和操作方便等优点。ingaas探测器在.μm~.μm波段具有非制冷室温工作、探测率高、均匀性好等优点,成为微型近红外光谱仪芯片的理想选择。基于短波红外ingaas探测器的微...
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