技术编号:24564235
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明实施例涉及一种感测器装置及其制造方法,特别涉及可改善生物感测的集光效率的一种光学感测器装置。背景技术互补式金属氧化物半导体(cmos)影像感测器广泛用于电子装置中,包括数码相机、医学成像设备、分光计(spectrometer)或雷达装置等。互补式金属氧化物半导体影像感测器通常包括集成电路与光电二极管(photodiode),因此可捕获光线并将其转换成电信号。近来,互补式金属氧化物半导体影像感测器也用于生物或化学分析。在这些分析中,生物或生化样品可置于光电二极管上,并利用光学结构引导生物或生...
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