技术编号：2458719
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及反射防止膜、使用了该反射防止膜的透镜、光学系统、物镜以及使用了该光学系统的光学设备。背景技术作为以往的紫外光用的反射防止膜，提出了专利文献I记载的反射防止膜。该反射防止膜是如下的膜在透明基板面上交替形成包含Al2O3膜的中间折射率层、和包含MgF2的低折射率层并设为4层 7层，在波长248nm (KrF准分子激光波长)、和除此以外 的波长(例如He — Ne激光波长633nm)这两个波长处防止反射。此外，在专利文献2中，提出了层叠7层的膜，该膜是...
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