技术编号:24746021
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明应用于太阳能电池pecvd工序后,尤其涉及一种硅烷尾气处理机构。背景技术.太阳能电池的制造需要经过制绒、扩散、刻蚀、pecvd镀膜、丝网印刷和烧结测试这七大工序,其中,在pecvd镀膜工序后会产生硅烷废气,此废气需经过处理后才能排放,通常该处理过程需要经过pecvd主机台‑真空泵‑泵后处理器‑燃烧桶‑粉尘沉积塔‑酸雾塔多个环节后才能达到排放标准,该环节不仅繁琐制造成本高,管道、部件多维修保养难,还存在安全隐患,因此亟待解决。发明内容.鉴于以上,本发明提供一种硅烷尾气处理机构,使用本...
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