技术编号:24767245
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种含有乙烯和s‑h键废气的处理装置技术领域.本实用新型涉及玻璃生产废气处理技术领域,尤其涉及一种含有乙烯和s‑h键废气的处理装置。背景技术.目前,国内在线硅膜的废气处理装置还较为少见。在线硅膜镀膜产生的废气主要由氮气、硅烷热分解产生的含氢的si‑hx多晶硅粉尘、乙烯氮气、空气组成。在以往生产中,在线硅膜镀膜产生的废气通常被直接排放,粉尘对大气环境造成污染。而随着废气排放标准越来越严格,在线硅膜排废治理势在必行,为此我们提出一种含有乙烯和s‑h键废气的处理装置。实用新型内容.(一)实用新型...
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