技术编号:24793975
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及半导体加工设备技术领域,具体的说是涉及一种用于自动键合机的载具。背景技术.微电子组装中,引线键合作为一门复杂的组装和制造工艺技术,是提高通用微电子器件、专用集成电路、薄厚膜混合集成电路、多芯片组装、系统集成电路等微电子电路性能的关键技术。在键合过程中常用到自动键合机,将待加工的器件固定在夹具上,利用自动键合机的键合头对待加工器件进行键合,形成产品。但是,自动键合机的键合头的竖向行程距离是固定的,一般是mm左右,高度较高或较低的待加工器件很难适应键合头的高度,需要多次手动调...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。