具有减小的驱动电容的驱动器的制作方法技术资料下载

技术编号:2481798

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本发明涉及微制作机电装置中的装置驱动器结构。背景技术喷墨打印机通过选择性地将墨沉积到接收介质上而形成图像。在传统喷墨打印机系统中,墨存储于墨存储单元例如墨贮存器或墨盒中,并从该存储单元引入到打印头,例如图1所示的打印头100。在打印头100内,墨流入墨泵浦腔体120并流到喷嘴130,墨在喷嘴130被喷射。通常,该打印头包括使墨通过喷嘴130挤出打印头100的驱动器。两种常见类型的驱动器包括电阻加热驱动器和压电驱动器。在压电驱动器150内,压电材料层165可...
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