技术编号:24866697
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及镀膜机设备技术领域,特别是涉及一种镀膜机用分水器。背景技术镀膜机,主要指的是一类需要在较高真空度下进行的镀膜,主要思路分成蒸发镀膜和溅射镀膜两大类,比如,真空离子镀膜,磁控溅射镀膜,pld激光溅射镀膜等。镀膜机在工作过程中,会产生大量热量,长期受热会使得镀膜机腔体内部的机构发生形变,因此需要对镀膜机的腔体进行冷却,目前是直接使用喷水头对准镀膜机的腔体外壁进行喷水进行液冷,液冷效率低下,而且会浪费大量水资源。实用新型内容基于此,有必要针对现有的镀膜机液冷效率低,且容易浪费水资源的情况...
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