晶粒组件及其制备方法与流程技术资料下载

技术编号:24881790

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本公开主张2019年10月28日申请的美国正式申请案第16/665,310号的优先权及益处,该美国正式申请案的内容以全文引用的方式并入本文中。背景技术随着集成电路技术不断地发展,人们持续地努力以提高性能和密度。设计者为了实现这些好处而探索的一种方法是实施堆叠式三维集成电路。适合考虑三维集成电路的一些领域包括使用相同或不同的工艺堆叠两个或更多个芯片以缩小集成电路系统的覆盖区(footprint)。上文的“现有技术”说明仅是提供背景技术,并未承认上文的“现有技术”说明披露本公开的标的,不组成本公开的...
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