技术编号：24892262
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于集成电路制造及液晶显示技术领域，具体涉及一种硅基液晶显示芯片制造方法及硅基液晶显示芯片。背景技术硅基液晶(liquidcrystalonsilicon，简称lcos)微显示芯片是以半导体集成电路制造工艺为基础，在硅上面制造集成电路后，在芯片上面制造一层液晶，形成可以显示的微小芯片，其具有高集成度，高开口率，高分辨率，低功耗等优势。液晶的特性要求在硅上面制作的芯片应具有非常高的平整度，具体而言除了芯片像素电极区域本身要有很高的平整度，且芯片其他区域也能够保证足够的平整度，且其他区域(如焊...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。