一种丝网印刷烧结系统的制作方法技术资料下载

技术编号:2492172

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本实用新型涉及半导体,具体涉及ー种丝网印刷烧结系统。背景技术晶体硅太阳能电池是将太阳能转换成电能的半导体器件。硅片经过清洗制成绒面,扩散形成PN结,等刻,去磷硅玻璃,镀上减反射膜,丝网印刷烧结这些エ艺后制成一片晶体硅太阳能电池。其中,丝网印刷烧结是晶体硅太阳能电池制造エ艺中最后一道エ序,包括印刷背电极烘干,印刷背电场烘干,印刷正电场烘干、烧结。现有技术中丝网印刷烧结系统包括烘箱、片夹和操作台。现有技术中丝网印刷烧结系统包括印刷机、烘箱、烧结炉、片夹 和操作...
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