一种板级三维芯片封装结构及其制备方法与流程技术资料下载

技术编号:24975922

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本发明涉及集成电路封装技术领域,具体涉及一种板级三维芯片封装结构及其制备方法。背景技术随着电子产品小型化和集成化的潮流,微电子封装技术的高密度化已在新一代电子产品上逐渐成为主流。为了顺应新一代电子产品的发展,尤其是手机、笔记本、智能穿戴设备等产品的发展,芯片向密度更高、速度更快、尺寸更小、成本更低等方向发展。在封装过程中,由于塑胶、硅及金属等材料的热膨胀系数的差别,导致这几种材料的体积变化不同步,从而产生应力并导致翘曲。其中,芯片与注塑材料热膨胀系数的差别使注塑材料冷却过程中产生的应力是封装技术...
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