技术编号：24982823
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本申请涉及流量控制技术领域，具体而言，本申请涉及一种质量流量控制器检测系统。背景技术目前，数字式气体质量流量控制器(digitalmassflowcontroller，dmfc)是一种通过数字信号实时监控并调节供气系统流量的控制器，它广泛应用于光伏、燃料电池、半导体工艺等领域，并且在这些领域的工艺设备供气系统中均为主要部件。因此，此种dmfc的精度及可靠性便成为上述各领域的工艺准确性及稳定性的关键因素，而决定dmfc的精度及可靠性的标定方法就变得尤为重要。现有的标定方法是将dmfc放到标定系统中...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。