技术编号：24983301
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及例如在新设置并启动超纯水制造装置时被使用的超纯水制造装置的启动方法、以及能够应用该启动方法的超纯水制造装置。背景技术在被利用于半导体的制造工序等中的超纯水制造装置中，通过包含朝向使用点(usepoint)(使用处)的被处理水的流路、和各种处理装置的水处理系统，对在流路上流过的被处理水进行水处理而得到超纯水。这种超纯水制造装置主要具备一次纯水制造部以及二次纯水制造部。一次纯水制造部例如使用对原水中的悬浊物质进行去除的前处理部、和对前处理水中的总有机碳(toc)成分或离子成分进行去除的反渗...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。