技术编号：25044931
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本公开涉及金属柱面光栅光刻机技术领域，具体涉及一种激光直刻金属柱面光栅光刻机。背景技术.金属柱面光栅是一种现代高精度先进的光学基准元件，因其具有测控精度高、耐冲击、振动、应用广泛、安装便捷等优良特性，而被广泛用于角位移的精准测量与控制中，光刻机是制造金属柱面光栅的母机，它关系到金属柱面光栅的制造水平。.随着现代科学技术的高速发展，对金属柱面光栅制造提出了高精度制造、高效率制造、绿色环保制造等更高的要求。目前，国内外金属柱面光栅生产技术，主要存在如下问题：其一、国内光栅光刻技术原理落后，采...
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