技术编号：25051826
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及太阳能电池技术领域，尤其涉及一种载片器和镀膜系统。背景技术.目前，在采用管式pecvd(plasma enhanced chemical vapor deposition，等离子体增强化学的气相沉积法)镀膜系统对电池片进行镀膜时，通常使用置于镀膜系统中的石墨舟搭载电池片，然后在高温高压下电离镀膜系统腔体内的反应气体，使得反应气体等离子化并发生化学反应产生反应产物。此时，反应产物沉积在电池片表面，对电池片进行镀膜。.在使用石墨舟对电池片进行镀膜时，由于加热装置设置在石墨舟的两...
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