技术编号:25057667
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及化学制备技术领域,尤其涉及一种钟罩式化学气相沉积炉。背景技术.化学气相沉积是一种化工技术,该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法,化学气相淀积是近几十年发展起来的制备无机材料的新技术,化学气相淀积法已经广泛用于提纯物质、研制新晶体、淀积各种单晶、多晶或玻璃态无机薄膜材料,钟罩式沉淀炉是化学气相沉积使用的设备之一,现有技术中公开了一种钟罩式气相化学沉积炉,包括基座、钟罩沉积炉沉淀炉本体、水平螺纹柱和插销,所述基座上设置有...
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