技术编号：25086943
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。mems扫描镜技术领域.本发明涉及激光投影技术领域。更具体地，涉及一种mems扫描镜。背景技术.采用mems(micro electro mechanical system，微机电系统)扫描镜的激光投影仪，具有低成本、小型化等优点，具有广阔的市场前景。.传统的mems扫描镜常采用扭杆致动方式，反射镜被两个、三个或更多的支撑该反射镜的扭杆带动倾斜并扭转，以执行光学扫描，采用共振驱动来实现大的扫描角度，需要通过结构设计将反射镜倾斜运动的共振频率与驱动频率相匹配。.在驱动mems扫描镜或监控反...
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