一种带有网络传输功能的全固态射频电源的制作方法技术资料下载

技术编号:25106580

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.本实用新型涉及一种射频电源,具体为一种带有网络传输功能的全固态射频电源,属于全固态射频电源技术领域。背景技术.固态射频电源相对于电子管射频电源来说具有使用寿命更长,功率控制更精密,功率输出更稳定,频率精度更高。其不会随着使用时间的增长而像电子管射频电源那样出现输出功率衰减的问题,现已广泛应用于半导体工艺设备,led与太阳能光伏产业,科学实验中的等离子体发生,射频感应加热,射频医疗美容,常压等离子体消毒清洗等,但是,现有的带有网络传输功能的全固态射频电源,结构较为单一,在使用时并不具有减震功...
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