技术编号:25295576
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。dlc制备装置和制备方法技术领域.本发明涉及类金刚石薄膜制备领域,更进一步,涉及一透明硬质的dlc制备装置和制备方法,所述dlc适于被沉积于电子设备及其配件的表面进行防护作用。背景技术.类金刚石薄膜(diamond like carbon,dlc)是一种包含有sp和sp碳键的亚稳态材料,兼具了金刚石和石墨的优良特性,其具有高硬度、高电阻率、良好光学性能以及优秀的摩擦学特性。类金刚石薄膜具有多种不同的结构形式,特殊结构的碳纳米材料(类富勒烯结构碳,纳米非晶碳,石墨烯),因其具有超低摩擦系数...
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