一种微力测量装置、其制备方法及原位力学测试的方法与流程技术资料下载

技术编号:25345269

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.本申请涉及细微尺度力学领域,具体而言,涉及一种微力测量装置、其制备方法及原位力学测试的方法。背景技术.对细微尺度的试样进行力学测试时通常面临难以对准和固定试样的问题,此外由于载荷与试样特征尺寸的平方成正比,而位移与试样的特征尺寸成正比,随着试样尺寸的减小其载荷和位移都变得非常小,导致对细微尺寸下的试样进行力学测试时要求传感器具有很小的尺寸以及高的位移和力分辨率。.目前,几乎所有的细微尺度试样力学测试方法都是利用细小的探针与待测试样接触,然后监测探针施加于试样的载荷和位移从而获得作用于试样...
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