一种薄膜晶体管、其制作方法、阵列基板及显示装置制造方法技术资料下载

技术编号:2540704

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本发明公开了一种薄膜晶体管、其制作方法、阵列基板及显示装置,将薄膜晶体管的栅极、栅绝缘部件、有源部件和源漏极沿平行于衬底基板的水平方向设置在衬底基板上,而现有的薄膜晶体管是在衬底基板上依次层叠设置栅极、栅绝缘层、有源层和源漏极,本发明实施例提供的薄膜晶体管相当于将现有的薄膜晶体管以其在衬底基板上占用的区域中较短的边为中心轴旋转90°,这样,使薄膜晶体管在衬底基板上占用区域的横向宽度的数量级由10-6m减小至10-10m,由此减小了薄膜晶体管在衬底基板上所占...
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