技术编号:25442282
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本公开涉及分光单元及分光模块。背景技术已知一种分光模块,其具备:出射照射至对象物的光的光源、将由对象物反射的光或者透过对象物的光分光的分光单元、以及检测通过分光单元分光的光检测器(例如,参照专利文件1)。通过这样的分光模块,例如可以无损地分析对象物的成分。现有技术文献专利文献专利文献1:日本特开2014-145643号公报发明内容发明所要解决的技术问题在如上所述的分光模块中,有时法布里-珀罗干涉滤光器适用于分光单元。在这种情况下,提高通过法布里-珀罗干涉滤光器的分光精度,例如,在提高对象物的成分...
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