技术编号:25443081
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。背景技术扫描电子显微镜(scanningelectronmicroscopy,简称sem)和扫描探针显微镜(scanningprobemicroscopy,简称spm)是用于纳米和亚纳米成像的平台。spm,例如原子力显微镜(atomicforcemicroscopy,简称afm),使用尖锐的悬臂梁尖端通过闭环位置和力控制扫描样品表面,以获取样品的3d形貌。与spm不同,sem通过聚焦电子束扫描样品表面从而生成样品图像。电子与样品中的原子相互作用,产生包含有关样品表面形貌(主要是二维)和成分信息的...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
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