技术编号：25550581
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及流体输送技术领域，具体而言，涉及一种旋转接头和一种硅片处理装置。背景技术旋转接头的应用领域十分广泛，几乎覆盖各行各业，如机床、冶金、塑料、发电、食品加工等行业，主要通的流体介质液是一些切削液，流体介质本身对旋转接头没有腐蚀性。但有很多需要用到化学药品的行业，如光伏和半导体行业，其输送流体介质的接头、管道有着严格的洁净度要求，且用的流体介质大多是有腐蚀性的化学药品，致使接头被化学药品腐蚀发生泄漏，并且当前密封结构在接头转轴频繁转动的情况下极易发生磨损，同样导致了药液的泄漏，如果发生泄...
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