一种碳化硅MOSFET器件的元胞结构及功率半导体器件的制作方法技术资料下载

技术编号:25652947

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一种碳化硅mosfet器件的元胞结构及功率半导体器件技术领域.本发明涉及功率半导体器件领域,尤其涉及一种集成了肖特基二极管(sbd)的碳化硅金属氧化物半导体场效应晶体管(mosfet)器件的元胞结构及功率半导体器件。背景技术.现阶段的逆变器和转换器多使用硅基igbt,但igbt关断时的拖尾电流和开通时外置frd的恢复导致功率转化时损耗过大。因此更低损耗、更高开通频率的碳化硅mosfet备受市场青睐。但传统的碳化硅mosfet,在第三象限体二极管导通时会导致电特性退化,例如导通电阻和正向压降的...
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