技术编号:25940414
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于二维材料生长装置技术领域,具体地说是一种二维材料垂直生长的硅片反应转移装置。背景技术常规的二维材料设备硅片是放在石英舟内:不便于更换转移,在抽真空和喷淋时会出现硅片掉落的现象。发明内容本实用新型的目的是克服现有技术中存在的不足,提供一种便于更换硅片并能防止硅片掉落的二维材料垂直生长的硅片反应转移装置。按照本实用新型提供的技术方案,所述二维材料垂直生长的硅片反应转移装置,包括硅片座与压盖;在所述硅片座的侧面开设有夹持凹槽,在硅片座的上端面设有呈多边形形状的硅片放置凹腔;所述压盖套在硅...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。