技术编号:25950307
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种靶材的制备方法,具体涉及一种掺杂zns靶材的制备方法。背景技术zns多晶作为一种红外光学材料广泛应用于空空、空地和地空导弹头罩,红外成像制导系统和红外窗口等领域。制备硫化锌多晶主要有气相沉积法(cvd-zns)和热压法(hp-zns),与cvd-zns相比,hp-zns具有优异的机械性能和光学性能,且制造成本低,制作效率高的特点。溅射镀膜是一种以高能量轰击靶表面,使靶材发生溅射。在溅射粒子中,靶原子或分子沉积在基片上形成薄膜的方法。采用热压法制备的zns不具备导电能力,很难通过溅射...
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