技术编号:26295053
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本申请要求申请日为2020年1月30日、标题为“在驱动范围内具有改进的稳定性的线性梳式驱动器”的美国临时专利申请62/967,854的优先权,其全部内容通过引用结合于此。本公开一般地涉及微机电系统和线性梳式驱动器。背景技术线性梳式驱动器是一种微机电系统(mems)致动器,其使用静电力进行致动。一种线性梳式驱动器包括转子和定子,所述转子包括第一导电梳,所述定子包括第二导电梳。至少部分基于向第一和第二导电梳施加静电力,线性梳式驱动器相对于定子移动转子,所述定子可以是静态的。线性梳式驱动器可以用于其他...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。