技术编号：26435710
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及芯片镀膜领域，尤其是一种镀膜设备。背景技术半导体激光器又称激光二极管，是光通信、光传感、光泵浦等领域的核心器件。其工作原理是通过一定的激励方式，靠电子在能带间跃迁发光，利用半导体晶体的解理面101a形成两个平行反射镜面组成谐振腔101e，使光振荡、反馈，产生光的辐射放大，输出激光。请参考图1至图3，在生产半导体激光器芯片1011时，步骤一，将半导体晶圆片1解理成若干个条状的巴条101；步骤二，将解理好的巴条101整齐堆叠，然后对各个巴条101两侧的解理面101a分别进行镀膜，其中一侧的...
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