技术编号：26489256
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及成膜装置，特别涉及适于提高已成膜的膜的绝缘性的技术。本申请根据2019年12月26日在日本申请的专利申请第2019-236187号要求优先权，在此援用其内容。背景技术正在进行锂离子电池的研究。其中，负极、电解质和正极全部由固体构成的全固态电池，作为兼具安全性和高能量密度、寿命长的电池，其开发备受期待。作为全固态电池的电解质膜的制造方法，需要包含锂的成膜，如专利文献1所述，通过沉积来进行。在这种电解质膜的成膜工艺中，已知例如使用包含锂和磷的沉积源，通过包含氮的等离子体进行成膜来形成含氮膜...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。