技术编号：26498370
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。一种封闭膜结构mems红外光源及其制备方法技术领域.本发明涉及一种红外光源及其制备方法，特别是涉及一种封闭膜结构mems红外光源、所述封闭膜结构mems红外光源的制备方法、采用所述封闭膜结构mems红外光源的气体传感器。背景技术.随着社会经济和科技的快速发展，人民的生活水平得到不断的提升，与此同时也给生态环境造成了很大压力。如有毒有害气体排放引起的空气污染、co排放引起的温室效应等正给人类可持续发展带来越来越多的环境和社会问题。空气质量问题每年造成的人类死亡已经超过艾滋病和疟疾的总和。空气...
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