银合金溅射靶以及银合金膜的制作方法技术资料下载

技术编号:26562001

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.本发明涉及在进行银合金膜的成膜时使用的银合金溅射靶以及银合金膜,该银合金膜可以适用于例如显示器或触控面板用的透明导电膜及光学功能性膜的金属薄膜等。.本申请主张基于年月日于日本申请的特愿‑号的优先权,并将其内容援用于此。背景技术.例如,在液晶显示器或有机el显示器、触控面板等中,作为构成配线及电极的透明导电膜,例如专利文献~所示,适用层叠膜,该层叠膜为透明导电氧化物膜与由银或银合金构成的银膜的层叠构造。对于该层叠膜,要求可见光区域的光的透过率高,而且电阻...
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