离子束增强腐蚀制备晶体薄膜的方法与流程技术资料下载

技术编号:26589452

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.本发明涉及一种离子束增强腐蚀制备晶体薄膜的方法,属于集成光学器件技术领域。背景技术.离子束技术通过控制辐照元素的种类、辐照能量、辐照剂量等因素实现对材料性质的改变,该技术自出现以来被广泛应用于材料改性、微纳加工、生物医疗等众多领域,拥有广阔的发展前景。激光器分为固体激光器、气体激光器、半导体激光器以及染料激光器四大类,其中固体激光器常用的工作介质为激光晶体。例如:在钇铝石榴石晶体中掺入三价钕离子(nd:yag)的激光器可发射波长为nm的近红外激光。另外,硼酸钙氧钆gdcob被认为是...
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