技术编号：26589452
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及一种离子束增强腐蚀制备晶体薄膜的方法，属于集成光学器件技术领域。背景技术.离子束技术通过控制辐照元素的种类、辐照能量、辐照剂量等因素实现对材料性质的改变，该技术自出现以来被广泛应用于材料改性、微纳加工、生物医疗等众多领域，拥有广阔的发展前景。激光器分为固体激光器、气体激光器、半导体激光器以及染料激光器四大类，其中固体激光器常用的工作介质为激光晶体。例如：在钇铝石榴石晶体中掺入三价钕离子(nd：yag)的激光器可发射波长为nm的近红外激光。另外，硼酸钙氧钆gdcob被认为是...
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