技术编号：26590555
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本申请涉及传感器技术领域，特别是涉及一种湿敏电容及其制作方法、湿度测量设备。背景技术.湿敏电容是一种重要的湿度传感器器件，广泛应用在航空、医疗、微电子等领域。.梳指式湿敏电容是一种平面型湿敏电容，其电极是梳指电极，目前，梳指电极是采用溅射或者蒸发等薄膜金属化工艺制作而成，制作成本高，并且，受到制作工艺限制，梳指电极的厚度均小于微米，导致湿敏电容电极正对面积极小，进而使得湿敏电容的基础电容和电容变化量都很小，电容灵敏度低，提升了湿敏电容检测电路的设计难度。.因此，如何解决上述技术问题应...
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