技术编号:26594702
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及激光加工技术领域,尤其涉及一种适用小角度入射的并行激光加工系统。背景技术.在激光微加工应用中,通过对激光光束进行分束来实现多光束的并行加工,可以极大的提高激光加工效率;通过对光束进行整形,可有效提高特定加工的加工效果。基于空间光调制器的并行激光加工系统由于其可对光束的相位进行灵活调控,加工高效、高精度的特性越来越受到重视与关注;通过给该系统加载不同的算法全息图可得到不同的二维、三维目标光场,如像差校正、结构光场、脉冲时空整形等,从而实现多种应用场景下的激光加工。.然而,由于空间...
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