技术编号:26666315
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明关于蒸镀技术领域,尤其指一种遮罩。背景技术.有机发光二极管(organic light emitting diode,oled)是属于电激发光元件(electroluminescence,el)领域,其具有广视角、自发光、高亮度、高对比、操作温度广泛及反应速度快等优点,其制作方法一般是采用蒸镀制程,将遮罩置于蒸镀源与基板间,可将图案实现至基板上;金属遮罩(fine metal mask,fmm)具有多个蒸镀开口,通常透过蚀刻或电铸而得,有机材料可以于蒸镀制程中通过开口进而附着于基板上...
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