技术编号:26732643
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及半导体技术领域,尤其涉及一种浆液桶开启装置及开盖机械手。背景技术.在半导体生产工艺流程中,晶圆抛光是一道重要工序,而抛光浆液的纯净与否也是晶圆抛光重要的一环,现阶段在开启浆液桶时,容易造成浆液桶钮盖破坏、浆液桶损坏、对浆液桶内造成污染等问题,如何能在开启浆液桶的过程中高效且减少污染是极其重要的。.为此,亟需提供一种浆液桶开启装置及开盖机械手,以解决上述问题。实用新型内容.本实用新型的目的在于提供一种浆液桶开启装置,结构简单,操作灵活,能高效快速的开启浆液桶,桶内浆液无污染...
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