技术编号：2673297
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于半导体制造装备，主要涉及基于线缆盒防转机构的双工件台回转交换方法与装置。背景技术光刻机是极大规模集成电路制造中重要的超精密装备之一。光刻机的分辨率和套刻精度决定了集成电路芯片的最小线宽，同时光刻机的产率则极大的影响集成电路芯片的生产成本，而作为光刻机关键子系统的工件台又在很大程度上决定了光刻机的分辨率、套刻精度和产率。产率是光刻机发展的主要追求目标之一。在满足分辨率和套刻精度的条件下，提高工件台运行效率进而提高光刻机产率是工件台技术的发展方向。提...
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