一种硅基三维叠加型光纤耦合结构的制作方法技术资料下载

技术编号:2674518

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本发明涉及集成光电子器件,是一种硅基三维叠加型光纤耦合结构,该耦合结构利用光纤和波导叠加的形式耦合,可以有效降低光纤和波导的耦合损耗。具有广泛应用于光通信以及平面光波光路互联的前景。背景技术随着硅基材料在集成光子学领域的不断发展,人们对硅光子器件也提出了更高的要求。硅基(SOI)波导结构具有对光的更好的约束作用,从而得到了广泛的应用。一般硅基光波导的尺寸大都在亚微米量级,折射率在3. 5左右,然而标准的单模光纤的尺寸大都在8到10微米左右,折射率仅为1. ...
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