技术编号：26751556
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及进行试样的截面加工的会聚离子束加工装置。背景技术.以往，利用会聚离子束加工装置进行试样的截面加工，进行该截面的观察。.如图所示那样进行截面加工。首先，以与试样的表面a垂直的方式照射会聚离子束a。然后，对会聚离子束a的照射位置进行扫描，挖掘出与试样的表面a正交的(与会聚离子束a的照射方向平行的)截面c。.但是，在截面加工后对截面c进行观察的sem镜筒的电子束a与会聚离子束a之间具有角度，因此，对于与截面c分离的部...
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