一种实现EBSD系统跨尺度连续自动表征分析测试方法与流程技术资料下载

技术编号:26753123

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一种实现ebsd系统跨尺度连续自动表征分析测试方法技术领域.本发明涉及金属材料分析测试领域,尤其涉及一种实现ebsd系统跨尺度连续自动表征分析测试方法。背景技术.随着高通量制备样品(如:高温合金、高熵合金、钛合金、非晶合金复合材料和非连续增强金属基复合材料等)连续快速检测需求,开发大尺寸多角度连续检测技术迫在眉睫。扫描电子显微镜结合,背散射电子衍射(ebsd)技术中电镜与分析设备并非统一厂家,全部设备均为标准配置,探测器的安装方式和位置有严格定位,而且由于样品台倾转角度与电镜极靴位置、探测器...
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