技术编号：2677421
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于微光机电器件，涉及一种对微机械光开关结构及制作方法的改进。背景技术已有技术的微机械光开关主要由两部分组成上半部分包括微反射镜、带扭臂的悬臂及上电极；下半部分包括倾斜下电极与绝缘层。[董玮，阮圣平，张歆冬，刘彩霞，陈维友等，一种降低扭臂结构微机械光开关驱动电压的新方法，吉林大学学报(信息科学版)，2003，21(1)1-3.]，如图1-1、图1-2所示包括微反射镜1、悬臂(上电极)2、倾斜绝缘层及倾斜下电极3、水平绝缘层与水平下电极4、下层基片5、...
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