技术编号：2680208
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及将在光掩膜上描绘的图形利用投影光学系统而复制在基板上的扫描曝光方法和扫描曝光装置。背景技术 (第1传统技术)在以往的投影光学系统的扫描曝光中所使用的投影光学系统，是必需将在光掩膜上描绘的图形作成正立像而在基板上成像的光学系统。即、当为了使光掩膜和基板相对投影光学系统向相同的方向移动并进行扫描曝光、而在使光掩膜和基板向与扫描方向正交的方向移动任意的距离并进行多次扫描曝光的场合，为了使在各扫描曝光中相邻的投影区域一部分重叠地进行扫描曝光，不能使用将在...
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