技术编号:2682460
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及对平板状构件执行规定处理的处理装置。背景技术以往,在利用作为处理装置的加热处理装置来对玻璃基板等处理对象构件进行加热处理时,利用升降销机构的不动销(固定销)和可动销来支撑处理对象构件(例如,参照专利文献1、2)。在专利文献I所公开的升降销机构中,利用可动销和固定销来交替地支撑基板。另一方面,在专利文献2所公开的升降销机构中,可动销在上下方向和水平方向上移动。利用上升的可动销来支撑处理对象构件并使其在水平方向上移动,并且,使可动销下降以利用不动销来...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。