处理装置的制作方法技术资料下载

技术编号:2682460

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本发明涉及对平板状构件执行规定处理的处理装置。背景技术以往,在利用作为处理装置的加热处理装置来对玻璃基板等处理对象构件进行加热处理时,利用升降销机构的不动销(固定销)和可动销来支撑处理对象构件(例如,参照专利文献1、2)。在专利文献I所公开的升降销机构中,利用可动销和固定销来交替地支撑基板。另一方面,在专利文献2所公开的升降销机构中,可动销在上下方向和水平方向上移动。利用上升的可动销来支撑处理对象构件并使其在水平方向上移动,并且,使可动销下降以利用不动销来...
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