感光性树脂组成物、硬化膜的形成方法、硬化膜、有机el显示装置及液晶显示装置的制作方法技术资料下载

技术编号:2688585

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本发明涉及ー种感光性树脂组成物、硬化膜的形成方法、硬化膜、有机EL显示装置及液晶显示装置,尤其涉及一种适于形成有机EL显示装置、液晶显示装置、集成电路元件、固体摄像元件等的电子零件的平坦化膜、保护膜或层间绝缘膜的正型感光性树脂组成物及使用该正型感光性树脂组成物的硬化膜的形成方法。背景技术在有机EL显示装置或液晶显示装置等中,设置着经图案形成的层间绝缘膜。该层间绝缘膜的形成时,广泛使用感光性树脂组成物,其原因在干用以获得必要的图案形状的エ序数少,而且可以获得...
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