技术编号：26908323
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及排气设备技术领域，具体为一种真空镀膜机排气系统用罗茨泵。背景技术.真空镀膜机是现在制造真空条件使用最为广泛的设备，其是由真空腔合辅助抽气系统组成，此排气系统选用“分散泵机械泵罗茨泵低温冷陷polycold”构成。.罗茨真空泵是指泵内装有两个相反方向同步旋转的叶形转子，转子间，转子与泵壳内壁间有细小间隙而互不接触的一种变容真空泵，是通过转子的不断旋转，被抽气体从进气口吸入到转子与泵壳之间的空间，再经排气口排出，气体沿着一个方向流动，进气口连接件内可形成真空。.罗茨泵在使...
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